发明名称 Apparatus for Regulating the Moisture in a Chamber, and Method of Operating Same
摘要
申请公布号 GB1198492(A) 申请公布日期 1970.07.15
申请号 GB19670037562 申请日期 1967.08.15
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 F24F3/14;F24F5/00;F25B21/02;H01L35/00 主分类号 F24F3/14
代理机构 代理人
主权项
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