| 发明名称 |
DIELECTRIC FILM THICKNESS MONITORING AND CONTROL SYSTEM AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3612692(A) |
申请公布日期 |
1971.10.12 |
| 申请号 |
USD3612692 |
申请日期 |
1968.11.21 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
ROBERT W. KRUPPA;ERNEST S. WARD |
| 分类号 |
G01B11/06;G05D5/03;(IPC1-7):G01B9/02 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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