发明名称 PHOTORESIST COMPOSITION AND METHOD OF FORMING AND USING THE SAME
摘要
申请公布号 US3615952(A) 申请公布日期 1971.10.26
申请号 USD3615952 申请日期 1969.10.20
申请人 RCA CORP. 发明人 EDMUND BENJAMIN DAVIDSON
分类号 C08L67/00;B41C3/02;C08K5/00;C08L67/08;G03F7/032;G03F7/038;H01L21/027;H05K3/00;(IPC1-7):C23F1/02;G03C1/00 主分类号 C08L67/00
代理机构 代理人
主权项
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