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发明名称 METHOD OF FORMING A SILICON NITRIDE DIFFUSION MASK
摘要
申请公布号 US3615940(A) 申请公布日期 1971.10.26
申请号 USD3615940 申请日期 1969.03.24
申请人 MOTOROLA INC. 发明人 KI DONG KANG
分类号 H01L21/00;H01L23/29;(IPC1-7):H01L7/44 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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