| 发明名称 |
PROCEDE DE CONDITIONNEMENT DE L'ATMOSPHERE DE BOITES DE TRANSPORT DE WAFERS NOTAMMENT DE TYPE FOSB |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2877641(B1) |
申请公布日期 |
2006.12.22 |
| 申请号 |
FR20040052587 |
申请日期 |
2004.11.10 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE |
发明人 |
LETURMY MARC |
| 分类号 |
B65B31/04;B65D81/20;B65G49/07;H01L21/677 |
主分类号 |
B65B31/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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