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发明名称 PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52146177(A) 申请公布日期 1977.12.05
申请号 JP19760062532 申请日期 1976.05.28
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KACHI MASAO;ASAMI HIROSHI
分类号 C23C18/32;H01L21/28;H01L21/288 主分类号 C23C18/32
代理机构 代理人
主权项
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