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VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON BIPOLARTRANSISTORSTRUKTUREN MIT SELBSTJUSTIERTEN EMITTER- UND BASISBEREICHEN FUER HOECHSTFREQUENZSCHALTUNGEN.
摘要
申请公布号
AT34050(T)
申请公布日期
1988.05.15
申请号
AT19840109902T
申请日期
1984.08.20
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUENCHEN
发明人
WIEDER, ARMIN, DR. ING.;SCHABER, HANS-CHRISTIAN, DR. RER. NAT.;SCHWARZL, SIEGFRIED, DR. RER. NAT.
分类号
H01L21/00;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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