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发明名称 APPARATUS FOR INSPECTING DETAILED POSITION
摘要
申请公布号 JPH01176902(A) 申请公布日期 1989.07.13
申请号 JP19870336808 申请日期 1987.12.29
申请人 KURAUSU RINDERU 发明人 KURAUSU RINDERU
分类号 G09B29/00;G01B5/00;G06F17/30;G09B29/10 主分类号 G09B29/00
代理机构 代理人
主权项
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