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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0310222(B2) 申请公布日期 1991.02.13
申请号 JP19840206930 申请日期 1984.10.02
申请人 SHARP KK 发明人 TANETANI MOTOTAKA;MATSUI KANEKI;MATSUMOTO AKIHIRO;HAYASHI HIROSHI
分类号 H01L21/20;H01L21/208;H01S5/00 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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