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发明名称 VERFAHREN ZUM PHOTOCHEMISCHEN AUFDAMPFEN VON OXIDSCHICHTEN MIT ERHOEHTER ABSCHEIDUNGSGESCHWINDIGKEIT.
摘要
申请公布号 DE3775025(D1) 申请公布日期 1992.01.16
申请号 DE19873775025 申请日期 1987.05.12
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO 发明人 ROGERS N
分类号 C01B33/12;C23C16/40;C23C16/48;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/40 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
主权项
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