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发明名称
FILM CARRIER
摘要
申请公布号
JPH04109642(A)
申请公布日期
1992.04.10
申请号
JP19900228892
申请日期
1990.08.30
申请人
SUMITOMO METAL MINING CO LTD
发明人
SASAKI JUN;HATAKEYAMA YASUSHI;KATAOKA WATARU
分类号
H01L21/60;H05K3/24
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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