发明名称 LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH04160092(A) 申请公布日期 1992.06.03
申请号 JP19900286705 申请日期 1990.10.23
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 TANABE TATSUYA
分类号 C30B19/00;C30B19/10;C30B29/40;H01L21/208 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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