发明名称 HERSTELLUNG EINER HALBLEITERVORRICHTUNG MIT EINGEBETTETEM OXYD.
摘要
申请公布号 DE3686253(D1) 申请公布日期 1992.09.03
申请号 DE19863686253 申请日期 1986.06.13
申请人 MOTOROLA INC 发明人 MCLAUGHLIN L;BIRRITTELLA S
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/36;H01L21/385;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;H01L29/06;H01L29/72;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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