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发明名称 WASHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04293578(A) 申请公布日期 1992.10.19
申请号 JP19910059111 申请日期 1991.03.22
申请人 SHARP CORP 发明人 URABE TAKAYUKI;OKETANI HIROI;KITOU TSUNANORI
分类号 B08B1/04;B08B1/00;C03C17/30;C03C23/00;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B08B1/04
代理机构 代理人
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