发明名称 Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturkörpern
摘要
申请公布号 DE4229244(A1) 申请公布日期 1994.03.03
申请号 DE19924229244 申请日期 1992.09.02
申请人 BASF AG, 67063 LUDWIGSHAFEN, DE 发明人 HOESSEL, PETER, DR., 67105 SCHIFFERSTADT, DE;STEPHAN, OSKAR, 68766 HOCKENHEIM, DE;HOFFMANN, GERHARD, DR., 67166 OTTERSTADT, DE;LANGEN, JUERGEN, DR., 53229 BONN, DE
分类号 B29C35/08;B29C43/18;B29C59/16;B29C70/78;B81B1/00;B81C1/00;G03F7/16;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/16;G03F7/004 主分类号 B29C35/08
代理机构 代理人
主权项
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