| 发明名称 |
Process for fabricating integrated circuits |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0478233(B1) |
申请公布日期 |
1996.01.03 |
| 申请号 |
EP19910308581 |
申请日期 |
1991.09.20 |
| 申请人 |
AT&T CORP. |
发明人 |
FOO, PANG-DOW;PAI, CHIEN-SHING |
| 分类号 |
H01L21/285;C23C16/32;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H05K3/00 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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