| 发明名称 |
DEVICE FOR INSPECTING SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09211068(A) |
申请公布日期 |
1997.08.15 |
| 申请号 |
JP19960013713 |
申请日期 |
1996.01.30 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
MURAYAMA TSUGIO;TANAKA SHOICHI;TAMURA YOSHIKAZU |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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