首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR0167481(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950029398 申请日期 1995.09.07
申请人 TOKYO ELECTRON KYUSHU LIMITED;TOKYO ELECTRON LIMITED;IWAKI CO., LTD 发明人 FUJIMOTO, AKIHIRO;TAKEKUMA, TAKASHI;SONOBE, KIYOMI
分类号 G03F7/20;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com