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发明名称 WAFER-CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH1131674(A) 申请公布日期 1999.02.02
申请号 JP19970185073 申请日期 1997.07.10
申请人 DISCO ABRASIVE SYST LTD 发明人 SATO KICHIZO
分类号 B08B3/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
主权项
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