Method for feeding granular silicon material, feed pipe used in the method, and method of manufacturing a silicon monocrystal,申请号EP19970300713-传众专利搜索

发明名称	Method for feeding granular silicon material, feed pipe used in the method, and method of manufacturing a silicon monocrystal
摘要
申请公布号	EP0787837(B1)	申请公布日期	2001.05.09
申请号	EP19970300713	申请日期	1997.02.05
申请人	SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED	发明人	NAGAI, NAOKI;HARADA, ISAMU;TASHIRO, CHIHIRO;ODA, MICHIAKI
分类号	C30B15/02;(IPC1-7):C30B15/02	主分类号	C30B15/02
代理机构		代理人
主权项
地址