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发明名称 ELIMINATION OF FLOW AND PRESSURE GRADIENTS IN LOW SPECIES UTILIZATION PROCESSES
摘要
申请公布号 KR20070042190(A) 申请公布日期 2007.04.20
申请号 KR20077004382 申请日期 2007.02.23
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 CRUSE JAMES P.;HEGEDUS ANDREAS G.;KUPPURAO SATHEESH
分类号 H01L21/205;H01L21/285 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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