薄膜晶体管及其制造方法、具有薄膜晶体管的液晶显示面板及电发光显示面板

摘要

TFT包括栅极、活性层、源极、漏极、和缓冲层。栅极形成在基板上，活性层形成在栅极上。形成在活性层上的源极和漏极分离预定距离。缓冲层形成在活性层与源极及漏极之间。缓冲层具有对应于缓冲层厚度的基本连续变化的含量比。缓冲层被形成以抑制活性层的氧化，并降低接触电阻。

主权项

1.一种薄膜晶体管，包括：栅极，形成在底部基板上；活性层，形成在所述栅极上，以覆盖所述栅极；源极和漏极，形成在所述活性层上，所述源极与所述漏极分开预定距离；以及缓冲层，形成在所述活性层与所述源极之间以及所述活性层与所述漏极之间，所述缓冲层被形成以抑制所述活性层的氧化。