记号形成方法及液滴喷出装置

摘要

本发明系提供一种记号形成方法及液滴喷出装置，其系从喷嘴朝向基板表面之目标喷出位置，沿喷出方向喷出液滴。从雷射头之照射口朝前述目标喷出位置，沿着照射方向发射雷射光。喷嘴和照射口都以目标喷出位置为旋动中心一同旋动，藉此，在维持前述喷出方向与前述照射方向所形成之角度之状态下，同时改变相对前述对象物表面之法线与前述喷出方向所形成之角度及前述法线与前述照射方向所形成之角度。藉此，可一边改变雷射光之照射角度，一边维持雷射光之位置精度。