溅镀装置及其成膜方法

摘要

一种藉由使用放电气体的磁控管电浆，对真空槽(10)内之靶材(13)进行溅镀之溅镀装置(100)的成膜方法，系将供给至靶材(13)之电力保持为固定，并根据代表磁控管电浆之分布特性的指标，调整真空槽(10)内之放电气体量。