镀膜设备及镀膜方法

摘要

本发明提供一种镀膜设备及一种镀膜方法。所述镀膜设备包括：一用于设置基板的基板支架；及至少一膜料蒸发源。所述基板支架能够在一定角度范围内摆动，以在镀膜过程中改变基板与所述膜料蒸发源发出之蒸汽流之间之夹角。