附着于固体上并用以增强化学机械抛光(CMP)调配物之自由基形成活化物

摘要

一种CMP组合物，其具有：一流体，其包含水及至少一种氧化化合物，该氧化化合物在与活化物接触时产生自由基；及复数个粒子，其具有一表面且包含置放于该表面上之至少一种选自Cu、Fe、Mn、Ti或其混合物之离子或化合物的活化物，其中该表面之至少一部分包含一稳定剂。较佳之活化物系选自B、W、Al及P之无机含氧化合物，例如硼酸盐、钨酸盐、铝酸盐及磷酸盐。该等活化物较佳为Cu或Fe的离子。出人意料之外地，若将该等含活化物之粒子悬浮于流体中成为浆料，低达0.2 ppm及12 ppm之活化物为有用的。某些有机酸，尤其二羟基烯醇酸之包括量宜低于约4000 ppm。活化物宜在研磨粒子已涂覆有稳定剂之后再涂覆于该等粒子上。