| 摘要 |
一种同时掺杂有氮与氟之氧化钛颗粒的制造方法，依序包含一备制三氟氧钛铵步骤，及一回火步骤。该备制三氟氧钛铵步骤是取适当之硼酸/氟钛酸铵的莫耳浓度比值，进行液相沉积制程，可于一含矽之矽基板上生成三氟氧钛铵。该回火步骤是让该矽基板于一回火气氛下进行回火，藉由控制加热温度至大于等于400℃且小于等于800℃，以获取掺杂有氮与氟的氧化钛颗粒。由于是直接使用三氟氧钛铵回火，利用其所含有的氮与氟原子，形成同时掺杂有氮与氟的氧化钛，并能环绕于氧化钛的周遭且分布均匀，而且氮的浓度大致上还可提高，藉此提升氧化钛的光催化力。 |
