来自半导体处理系统利用多变量分析之转换量测资料

摘要

将来自半导体处理系统的量测资料利用多变量分析加以转换。特别是，可获得针对一或多个基板加以测量或模拟的一组量测资料，其中该一或多个基板系利用该处理系统加以处理。利用多变量分析以决定已获得之该组量测资料之一或多个主要变数。可获得针对利用该处理系统来处理之一或多个基板加以测量或模拟的第一量测资料，所获得之该第一量测资料并不是在较早获得的该组量测资料中之量测资料其中一者。利用已决定的该一或多个主要变数将该第一量测资料转换成第二量测资料。