可撓性圧電センサの製造方法

摘要

本発明は、圧電センサを製造する方法であって、以下の段階：剛性支持体（１０）上にセンサ層（２、４、５、１２）の重ね合わせを形成する段階と、前記センサ層は第一電極（６、７）と第二電極（８、９）との間に含まれる圧電材料の層（５）を有しており、第一電極は第二電極と接触していない、次いで、前記センサ層（２、４、５、１２）が剛性支持体（１０）によって依然として支持されていながら、ポリマー層（１１）によって前記センサ層を被覆する段階と、次いで、剛性支持体（１０）からセンサ層の重ね合わせを取り出して、ポリマー層（１１）で被覆されたセンサ層がもはや剛性支持体（１０）によって支持されていない段階と、を含む、前記製造方法に関する。