METHOD OF MANUFACTURING SILICON NITRIDE NANO FIBER

摘要

본 발명은 (a) SiCl및 NH를 기상 반응시켜 Si(NH)를 제조하는 단계; (b) 상기 제조된 Si(NH)를 열분해하여 무정형 SiN를 제조하는 단계; 및 (c) 상기 제조된 무정형 SiN를 비산화성 분위기 하에 승온 속도를 변화시켜 열처리하여 결정형 질화규소 나노섬유를 제조하는 단계를 포함하고, 상기 질화규소 나노섬유의 O 함량은 2중량% 이하인 것을 특징으로 하는 질화규소 나노섬유의 제조방법에 관한 것이다.