Anordnung und Verfahren zur hochdynamischen, konfokalen Technik

摘要

Konfokale Anordnung mit brechkraftvariabler, abbildender Komponente mit einem Prüfobjektiv (12), wobei die brechkraftvariable, abbildende Komponente (7) auch mindestens eine diffraktive Subkomponente (7.2 und 7.4 bis 7.8) aufweisen kann, gekennzeichnet dadurch, dass eine Hauptebene der brechkraftvariablen, abbildenden Komponente (7) in der dem Objekt (13) abgewandten Brennebene des Prüfobjektivs (12) oder in einer zu dieser Brennebene optisch konjugierten Ebene angeordnet ist, wobei diese Ebene auch die Pupillenebene des Gesamtsystems für die Objektbeleuchtung und -abbildung darstellt.