| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen von dünnen Schichten mit bestimmten reproduzierbaren Dickenabmessungen, insbesondere von Dünnschichtwiderständen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH455441(A) |
申请公布日期 |
1968.07.15 |
| 申请号 |
CH19660016396 |
申请日期 |
1966.11.15 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
LELAND CASWELL,HOLLIS;STERN,EMANUEL |
| 分类号 |
C23C14/28;C23C14/35;H01C17/12;H01J37/34;H01J37/36;H01L49/02;(IPC1-7):H01C7/00 |
主分类号 |
C23C14/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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