| 发明名称 |
Verfahren zum Ausaetzen einer schwerloeslichen Schicht |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1696488(A1) |
申请公布日期 |
1971.10.21 |
| 申请号 |
DE19681696488 |
申请日期 |
1968.01.03 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
JOHN CUOMO,JEROME |
| 分类号 |
C23C14/22;C23C16/06;H01L21/00;H01L21/311;H01L23/485 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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