用以形成悬臂与探针的方法

摘要

所揭系为一种用来在一基材上制成一单晶悬臂与尖梢的方法。该方法可包括以一层光阻在该基材上界定一植入区的操作。再一操作系将氧植入该植入区内的基材中至一预定深度来形成一埋入氧化物层。该埋入氧化物层会形成该单晶悬臂与尖梢的底部。另一操作包括由该埋入氧化物层上方的基材来成形该单晶悬臂与尖梢。