| 发明名称 |
Hollow cathode gun and deposition device for ion plating process |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4863581(A) |
申请公布日期 |
1989.09.05 |
| 申请号 |
US19880152043 |
申请日期 |
1988.02.04 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP. |
发明人 |
INOKUTI, YUKIO;OHKUBO, OSAMU |
| 分类号 |
C23C14/28;H01J1/02;H01J37/305 |
主分类号 |
C23C14/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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