| 发明名称 |
HIGH VOLTAGE INTRODUCTION PART IN GAS PHASE ION SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01221847(A) |
申请公布日期 |
1989.09.05 |
| 申请号 |
JP19880045842 |
申请日期 |
1988.03.01 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
AIHARA RYUZO;SAKUMA YOSHIZO;NAGAFUNE TADAYOSHI |
| 分类号 |
H01J27/26;H01J37/08;H01J37/16;H01J37/248 |
主分类号 |
H01J27/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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