发明名称 PROBING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH02229446(A) 申请公布日期 1990.09.12
申请号 JP19890049495 申请日期 1989.03.01
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 UCHIDA MASAHIRO
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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