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<p>Procédé de production de cellules solaires, notamment des cellules solaires à couche mince, comprenant un substrat sur lequel est formée une structure multicouche. Ce procédé consiste à déposer une couche formée d'un composé constitué de plusieurs substances de base, tel que le diséléniure de cuivre-indium (CuInSe2) ou un composé proche où le cuivre (Cu) et l'indium (In) peuvent être remplacés totalement ou partiellement par de l'argent (Ag) et du gallium (Ga), respectivement, et où Se peut être remplacé totalement ou partiellement par du soufre (S) et du tellure (Te), la concentration de substances de base dans la couche étant variable. L'invention se caractérise en ce que le substrat (1) est placé à l'intérieur (11) d'un élément de support rotatif, généralement cylindrique (10); en ce que le substrat est chauffé; en ce que des sources de substances (13, 14, 15) sont utilisées pour déposer lesdites substances de base sur le substrat; et en ce que l'on dépose une ou plusieurs substance(s) de base en faisant passer les sources respectives (14, 15) axialement à travers l'élément de support cylindrique (10), en déplaçant ce dernier (10) et/ou les sources respectives (14, 15) tout en le faisant tourner. L'invention se rapporte particulièrement à des cellules solaires à couche mince sur lesquelles est déposé du CuInSe2.</p> |
