发明名称 SEALING APPARATUS AND SEALING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH11251345(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980053567 申请日期 1998.03.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKAMOTO TAMAO
分类号 H01L21/56;B29C45/14;B29C45/40;B29C45/47;B29C45/64;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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