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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11251331(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980064200 申请日期 1998.02.27
申请人 TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC 发明人 KAWAJI SACHIKO;MURATA TOSHIO;ISHIKO MASAYASU;UESUGI TSUTOMU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/732;H01L29/739;H01L29/74;H01L29/744;H01L29/749;H01L29/78;H01L29/80;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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