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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR TREATING WITH HALOGEN-CONTAINING GAS
摘要
申请公布号 JPH11251292(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980050234 申请日期 1998.03.03
申请人 SONY CORP 发明人 NAGAYAMA TETSUJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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