| 发明名称 |
EINRICHTUNG ZUM BE- UND ENTLADEN VON SUBSTRATEN IN BZW. AUS EINEM REINRAUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT227886(T) |
申请公布日期 |
2002.11.15 |
| 申请号 |
AT19990908874T |
申请日期 |
1999.02.11 |
| 申请人 |
BROOKS AUTOMATION GMBH |
发明人 |
SCHMUTZ, WOLFGANG;GENTISCHER, JOSEF |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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