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发明名称
IONENSTRAHLABTASTVERFAHREN UND VORRICHTUNG
摘要
申请公布号
AT227884(T)
申请公布日期
2002.11.15
申请号
AT19870903080T
申请日期
1987.04.08
申请人
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC.
发明人
BERRIAN, DONALD, W.;KAIM, ROBERT, E.;VANDERPOT, JOHN, W.
分类号
H01J37/04;H01J37/147;H01J37/304;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/08;H01J37/14
主分类号
H01J37/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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