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发明名称 VORRATSBEHÄLTER FÜR FLÜSSIGE, HOCHREINE SUBSTANZEN MIT EINER EINRICHTUNG ZUR REINIGUNG DER ANSCHLUSSSTÜCKE UND ROHRLEITUNGEN DES VORRATSBEHÄLTERS
摘要
申请公布号 AT227242(T) 申请公布日期 2002.11.15
申请号 AT20010108033T 申请日期 2001.03.29
申请人 CS CLEAN SYSTEMS AG 发明人 SCHOLZ, CHRISTOPH, DR.
分类号 H01L21/205;B08B9/02;B65B39/04;B65B55/10;B65D83/14;B67D7/02;C23C16/54;(IPC1-7):B67D5/02 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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