片状探针及其制造方法和应用

摘要

本发明公开了一种片状探针及其制造方法和应用，其允许形成小直径的前表面电极部分，并可靠地实现稳定的电连接状态，即使对于其上以小间距形成有电极的电路装置，并且其防止电极结构从绝缘膜脱落，以实现高耐用性。本发明的片状探针具有接触膜，其通过在挠性绝缘膜中设置多个电极结构而获得，这些电极结构在绝缘膜的厚度方向上以彼此在绝缘膜的平面方向上分开的状态延伸贯穿，其中每个电极结构对绝缘膜的表面暴露，并由从绝缘膜的前表面上凸出的前表面电极部分、对绝缘膜的后表面暴露的后表面电极部分、直接结合到前表面电极部分和后表面电极部分用于将它们电连接并在绝缘膜厚度方向延伸的短路部分、和在前表面电极部分的近端部分形成并在绝缘膜的平面方向上延伸的支撑部分，其中支撑部分的至少一部分被嵌埋在绝缘膜中。

主权项

1.一种片状探针，包括通过在挠性绝缘膜中以在绝缘膜的平面方向上彼此分开的状态设置多个电极结构而获得的接触膜，其中每个所述电极结构在绝缘膜的厚度方向上延伸贯穿，其中每个所述电极结构被暴露给绝缘膜的表面，并且由从绝缘膜的前表面凸出的前表面电极部分、被暴露给绝缘膜后表面的后表面电极部分、直接结合到前表面电极部分和后表面电极部分用于将它们电连接起来并在绝缘膜厚度方向上延伸的短路部分、及在前表面电极部分的近端部分处形成且在绝缘膜平面方向上延伸的支撑部分组成，并且其中支撑部分的至少一部分被嵌埋在所述绝缘膜中。