摘要 |
一种用以侦测可充电表面上的电荷缺陷点的非接触式系统,该系统包括:一种用以对该可充电表面进行充电的第一电路系统,以接收并且维持一第一电压电荷;具有一探针表面的一种扫瞄器探针,该探针表面放置于远离该可充电表面一段距离的位置,并且具有一直径;一种用以对该扫描器探针进行偏压至不超过该第一电压电荷的一事先决定的电压临界值的一第二电压电荷的第二电路系统,其中使用该可充电表面以及介于该扫描器探针以及该可充电表面之间的介电物质建立一平行板电容,以及其中该扫描器探针读取与从彼等施加电荷以及在该可充电表面上的任意CDSs所感应的电荷相关之电位,包括感测彼等电位并且产生一对应于该感测的一信号;用以施加一参考电荷至该扫描器探针以及该可充电表面其中之至少一个之上的第三电路系统;一处理器;以及一电荷判定模组,其包含可以由该处理器执行的可程式指令,依据该扫描器探针所读取的数值,用以决定在该可充电表面上的一CDS的该电位,以及包含修正在该可充电表面上,该CDS的点状特性所造成的一不均匀的电荷分布。 |