离子源之前板

摘要

本发明系关于一适于离子布植机之离子源的前板。根据本发明之前板包含：正及反侧；一出口孔洞，其允许离子由离子源移出，且出口孔洞在正及反侧之间系实质平直地延伸穿过前板；及一狭缝，由正侧向反侧以其至少一部分厚度之倾斜而穿透前板，且狭缝由前板之一侧延伸以与出口孔洞连结。狭缝系经过倾斜以阻挡在由前方观看时进入离子源之视线，且更提供一膨胀间隙。