多层电路基板制造用之标记装置

摘要

从X-射线产生器11将X-射线照射于基板5，使标准标记50，51的影像投射在萤光屏12上，将所形成的影像由可见光CCD摄影机13予以一次照相而同时摄影且由控制装置9给予最终处理以同时地测定标记50和51的位置。标绘在光罩24和25上的校准标记系分别根据经由将X-射线照射透过在乾燥薄膜阻层55上的面镜22，23组所得标准标记50和51的位置而相应地印在乾燥薄膜阻层55上。