在电浆处理设备中即时诊断部件状态之方法及装置

摘要

本发明揭示一种用于诊断一电浆反应室之一耗材部件状态之装置及方法，该耗材部件包括嵌入于其中的至少一传导元件。该方法包括下列步骤：耦合该传导元件至一电源供应器，致使相对于接地的一偏压电位被施加至该传导元件；使该耗材部件曝露于电浆腐蚀，直到在该传导元件曝露于该电浆下该传导元件自该电浆汲取一电流；测量该电流；及基于该测量之电流来评估归因于该电浆所致之该耗材部件之一腐蚀程度。