发明名称 Method of manufacturing a semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100903278(B1) 申请公布日期 2009.06.17
申请号 KR20020067521 申请日期 2002.11.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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