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经营范围
发明名称
Method of manufacturing a semiconductor device
摘要
申请公布号
KR100903278(B1)
申请公布日期
2009.06.17
申请号
KR20020067521
申请日期
2002.11.01
申请人
发明人
分类号
H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/336
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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